年产50万片功率半导体芯片项目工程施工组织设计
1. 工程施工组织设计
1.1 施工扬尘污染防治措施
扬尘污染是施工期间重要的污染因素,项目在地下挖掘过程以及施工建设期间,不可避免地会产生一些地面扬尘,这些扬尘尽管是短期行为,但会对附近区域环境空气带来不利的影响,所以在施工期间,应采取积极的大气污染防治措施来尽量减少扬尘的产生,如喷水,保持湿润,增加遮盖,及时外运等。施工过程应严格遵守《防治城市扬尘污染技术规范》(HJ/T393-2007)的相关规定;在风力大于4级的情况下应停止土方作业,同时作业处应覆以防尘网。
1.2 噪声源强及降噪措施
本项目运营后,主要噪声源为各类生产设施和机泵产生的机械设备噪声,机械设备噪声值约70~82dB(A)。本次评价主要预测厂界外1m 处噪声贡献值,预测时段为昼间、夜间。拟建项目各噪声源强详见下表。本项目针对上述噪声源,建议采取的防噪控制措施如下:
| 序号 | 声源名称 | 型号 | 空间相对位置/m | 声源源强 | 声源控制措施 | 运行时段 | X | Y | Z | (声压级/距声源距离)/(dB(A)/m ) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 尾气风机1 | 点源 | 20 | 15 | 31.93 | 减震、消声 | 稳定声源 | 82/1 | ||
| 2 | 尾气风机2 | 点源 | 50 | 14 | 31.98 | 减震、消声 | 稳定声源 | 82/1 | ||
| 3 | 废气喷淋塔1 | 点源 | 11 | 15 | 32.37 | 隔声、减震 | 稳定声源 | 70/1 | ||
| 4 | 废气喷淋塔2 | 点源 | 17 | 15 | 32.42 | 隔声、减震 | 稳定声源 | 70/1 | ||
| 5 | 污水泵1 | 点源 | 49 | 14 | 31.48 | 隔声、减震 | 稳定声源 | 80/1 | ||
| 6 | 污水泵2 | 点源 | 33 | 20 | 31.49 | 隔声、减震 | 稳定声源 | 80/1 |
| 序号 | 建筑物名称 | 声源名称 | 型号 | 声源源强 | 声源控制措施 | 空间相对位置/m | 距室内边界距离/m | 室内边界声级/dB(A) | 运行时段 | 建筑物插入损失/dB(A) | 建筑物外噪声(声压级/距声源距离)/(dB(A)/m ) | X | Y | Z | 声压级/dB(A) | 建筑物外距离 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 芯片车间 | 沟槽腐蚀机TVS | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 61 | 9 | 32 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 2 | 芯片车间 | 沟槽腐蚀机GPP | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 63 | 4 | 32 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 3 | 芯片车间 | 清洗机GPP | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 63 | 1 | 32 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 4 | 芯片车间 | 去胶机A | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 58 | 9 | 32 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 5 | 芯片车间 | 去胶机B | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 52 | 4 | 31.98 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 6 | 芯片车间 | 焊接面蚀刻机1 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 51 | 10 | 31.98 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 7 | 芯片车间 | 焊接面蚀刻机2 | 点源 | 70/1 | <减震、隔声 | 50 | 4 | 31.98 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 8 | 芯片车间 | 清洗机TVS A | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 49 | -1 | 31.98 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 9 | 芯片车间 | GPP 炉管清洗机 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 44 | 9 | 31.97 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 10 | 芯片车间 | 清洗机TVS B | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 48 | -1 | 31.97 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 11 | 芯片车间 | 表面蚀刻机 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 36 | 5 | 31.94 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 12 | 芯片车间 | 涂胶机1 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 36 | 3 | 31.94 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 13 | 芯片车间 | 涂胶机2 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 34 | 3 | 31.93 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 14 | 芯片车间 | 涂胶机3 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 30 | -1 | 31.9 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 15 | 芯片车间 | 曝光机1 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 22 | 9 | 31.89 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 16 | 芯片车间 | 曝光机2 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 22 | 5 | 31.86 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 17 | 芯片车间 | 曝光机3 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 22 | 2 | 31.84 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 18 | 芯片车间 | 曝光机4 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 21 | -1 | 31.82 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 19 | 芯片车间 | 曝光机5 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 17 | 9 | 31.86 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 20 | 芯片车间 | 自动曝光机 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 17 | -1 | 31.77 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 | ||
| 21 | 芯片车间 | 扩散清洗机 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 16 | 3 | 31.79 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 22 | 芯片车间 | 扩散炉管清洗机 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 10 | 2 | 31.7 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 23 | 芯片车间 | 铂后清洗机 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 6 | 8 | 31.73 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 24 | 芯片车间 | 分割清洗机 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | 4 | 8 | 31.71 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 25 | 芯片车间 | 舟档片清洗机 | 点源 | 75/1 | 减震、隔声 | -1 | 6 | 31.61 | 稳定声源 | 25 | 47.98 | 1 | 31.36 | 79 | ||
| 26 | 芯片车间 | 吹砂机1 | 点源 | 80/1 | 减震、隔声 | 5 | 2 | 31.63 | 稳定声源 | 25 | 52.98 | 1 | 31.36 | 84 | ||
| 27 | 芯片车间 | 吹砂机2 | 点源 | 80/1 | 减震、隔声 | 4 | 1 | 31.6 | 稳定声源 | 25 | 52.98 | 1 | 31.36 | 84 | ||
| 28 | 芯片车间 | 吹砂机3 | 点源 | 80/1 | 减震、隔声 | 3 | 1 | 31.57 | 稳定声源 | 25 | 52.98 | 1 | 31.36 | 84 | ||
| 29 | 芯片车间 | 显影机 | 点源 | 70/1 | 减震、隔声 | 0 | 0 | 31.51 | 稳定声源 | 25 | 42.98 | 1 | 31.36 | 74 |
1.3 废水处理流程
本项目废水主要为生产废水、食堂废水和员工生活污水、初期雨水。其中,生产废水主要包括:工艺废水、纯水装置反冲洗废水、清洗炉管废水、纯水装置产生的浓水和废气处理装置废水等。
(1)工艺废水
本项目工艺废水主要为清洗废水,根据建设单位提供的经验数据,项目各工序废水量统计见下表。
| 生产工序 | 用水单元 | 废水编号 | 千片废水量(L ) | 废水量合计(m³/a ) |
|---|---|---|---|---|
| 硅片清洗 | 混酸后水洗 W1 | 322 | 1389.26 | |
| 泡氢氟酸后水洗 W2 | 322 | 1389.26 | ||
| 清洗液超声洗 | 106.66 | |||
| 清洗液超声后水洗 W4 | 640 | 2770.36 | ||
| 热纯水超声洗 W5 | 106.66 | |||
| 热纯水超声后水洗 W6 | 640 | |||
| 硼前清洗 | 混酸后水洗 W10 | 322 | 1389.26 | |
| 泡氢氟酸后水洗 W11 | 322 | 1389.26 | ||
| 清洗液超声洗 | 106.66 | |||
| 清洗液超声后水洗 W13 | 640 | 2770.36 | ||
| 热纯水超声洗 W14 | 106.66 | |||
| 热纯水超声后水洗 W15 | 640 | |||
| 分割 | 泡氢氟酸后水洗 W7、W16 | 800 | 1120 | |
| 热纯水超声洗 W8、W17 | 53.34 | 266.66 | ||
| 热纯水超声后水洗 W9、W18 | 266.66 | |||
| 清洗 | 混酸后水洗 W24 | 535.34 | 1234.56 | |
| 泡氢氟酸后水洗 W25 | 270.66 | |||
| 清洗液超声洗 | 138.66 | |||
| 清洗液超声后水洗 W27 | 533.34 | 1899.33 | ||
| 热纯水超声洗 W28 | 138.66 | |||
| 热纯水超声后水洗 W29 | 282.67 | |||
| 沟槽腐蚀 | 浅沟腐蚀后水洗 W30 | 1200 | 4800 | |
| 深沟腐蚀后水洗 W31 | 1200 | |||
| 去胶后水洗 W32 | 1200 | |||
| 抛光后水洗 W33 | 1200 | |||
| 清洗 | 泡氢氟酸后水洗 W34 | 4084.4 | 20127.6 | |
| SC1后水洗 W35 | 8021.6 | |||
| SC2后水洗 W36 | 8021.6 | |||
| 焊接面腐蚀 | 浅沟腐蚀后水洗 W37 | 2800 | 4000 | |
| 去胶后水洗 W38 | 1200 |
(2)纯水装置浓水
根据前述水平衡分析,本项目纯水制备装置产生浓水9234.55m³/a ,浓水主要是盐类物质较原水升高,含污染物极少,废水污染物浓度分别为COD50mg/L 、SS40mg/L ,收集后与经处理后的其他废水一起通过废水总排口排入园区污水管网。
(3)初期雨水
本项目初期雨水收集量为919.6m³/a ,初期雨水主要污染物是悬浮物。初期雨水经厂区雨水管网收集后汇入初期雨水池,进入厂区污水处理站处理。
污水处理站隔油池废水总排口江陵县威德水质净化有限公司污水处理厂食堂废水工艺废水、废气喷淋废水、初期雨水、纯水装置反冲洗废水、清洗炉管废水化粪池办公生活污水纯水装置浓水
图 19 项目废水处理流向示意图
项目车间产生的工艺废水、清洗炉管废水经管道收集至车间外北侧的废水收集池,容积约15m³,然后泵入污水站调节池;废气喷淋废水、纯水装置反冲洗废水经管道排入污水站调节池;初期雨水经收集后排入初期雨水池,然后泵入污水站调节池。
本项目拟在厂区北侧建设污水处理站,设计处理规模为8.5m³/h (204m³/d ),采用“中和+沉淀工艺”,工艺流程图如下。
生产废水沉淀中和清水池污水处理厂污泥压滤片碱、氧化钙PAC 、PAM 等调节池滤液成型设备
图 20 污水处理站工艺流程图
工艺流程说明:
废水中和处理法是废水化学处理法的一种,利用中和作用,使酸性废水或碱性废水调节至中性,同时生成可溶解或难溶解的其他盐类。本项目废水为酸性废水,加入碱性药剂可调节其至中性。
混凝法的基本原理是在废水中投入混凝剂,因混凝剂为电解质,在废水中形成胶团,与废水中的胶体物质发生电中和,形成绒粒沉降,混凝沉淀不但可以去除废水中的细小悬浮颗粒,而且还能够去除色度、油分、微生物、氮和磷、有机物等。项目废水经中和去除废水中酸类物质后再加入絮凝剂,在絮凝剂的作用下,使废水中的胶体和细微悬浮物凝聚成絮凝体,利于泥水分离。

