HG/T 4509-2013 工业高纯氢氟酸（完整版）
[行业标准 - 化工]
发表于：2022-05-25 18:23:41
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前言
HG/T 4509-2013 工业高纯氢氟酸
详情
标准号 ：HG/T 4509-2013
标准名称 ：工业高纯氢氟酸
发布日期 ：2013-10-17
实施日期 ：2014-03-01
废止日期 ：
代替以下标准 ：
归口单位 ：全国化学标准化技术委员会无机化工分会
主管部门 ：工业和信息化
标准类别 ：无
行业分类 ：无
适用范围 ：本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
起草单位 ：浙江凯恒电子材料有限公司 、 福建省邵武市永飞化工有限公司 等
起草人 ：田志扬、赵晓亚 等
